FD-9104XA 陶瓷研磨機

應用范圍:
本設備主要用于藍寶石襯底、藍寶石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶體、碳化硅、鍺片以及其他半導體材料的單面精密研磨。

設備原理及特點:
1、本設備為單面精密研磨設備，采用先進的機械結構和多種先進控制方法，研磨加工效率高，運行穩(wěn)定。
2、整機采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，設備參數(shù)設置和操作簡單方便，系統(tǒng)運行穩(wěn)定性高。
3、主電機采用變頻調(diào)速控制，實現(xiàn)主機軟啟動、軟停機，降低設備運行沖擊，減少工件損傷。
4、工件研磨壓力采用氣缸加壓方式，通過電氣比例閥控制實現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制，保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。

5、上壓盤采用主動驅(qū)動方式，在確保產(chǎn)品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統(tǒng)一性。
6、研磨盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能，在保證研磨液發(fā)揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。
7、設備自帶盤面修整機，盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。

主要技術參數(shù)：

設備圖片：

設備研磨拋光后的效果：